在幾十年發(fā)展歷程中，集成電路的飛速發(fā)展推動社會現(xiàn)代化程度跨越式提升，深刻影響了現(xiàn)代人類的思維方式和生活習(xí)慣。電子計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展加速人類社會進(jìn)入信息化時(shí)代，集成電路科學(xué)一定程度上成了人類科技大發(fā)展的基礎(chǔ)。
隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、自動駕駛等新興技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化加速，芯片需求量隨之激增。半導(dǎo)體質(zhì)量控制貫穿集成電路制造全過程，保證芯片性能與生產(chǎn)良率。隨著先進(jìn)制程和復(fù)雜工藝的使用，工藝環(huán)節(jié)不斷增加，行業(yè)發(fā)展對工藝控制水平提出了更高的要求，制造過程中量測設(shè)備與檢測設(shè)備的需求量倍增。
關(guān)于微崇
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從細(xì)微之基 做崇高之業(yè)
微崇于2021年3月成立，是由領(lǐng)先的海歸半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)發(fā)起，與中國資深工程師和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)共同建立一個(gè)，立足于非線性光學(xué)晶圓檢測技術(shù)的世界先進(jìn)半導(dǎo)體公司。微崇致力于研發(fā)最先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測技術(shù)，生產(chǎn)先進(jìn)的半導(dǎo)體檢測設(shè)備。
行業(yè)介紹
Industry
Introduction
微崇產(chǎn)品
Aspiring Product
ASPIPER 3000
非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測系統(tǒng)
ASPIRER 3000非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以提供晶圓級別的缺陷檢測，對界面及膜層質(zhì)量進(jìn)行綜合測試分析，提升各類制程的良率。獨(dú)有的非線性光學(xué)技術(shù)配合自主研發(fā)的檢測系統(tǒng)可提供超高的檢測靈敏度，并對有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機(jī)臺可滿足客戶在研發(fā)和量產(chǎn)中對晶圓質(zhì)量的快速、無損、精準(zhǔn)檢測需求。
- 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 非接觸、無損傷
- 快速檢測
- 在線檢測
- 軟件操作便捷
- Wafer Map等多樣化表征手段
- 主要應(yīng)用
- 各類成膜工藝質(zhì)量的監(jiān)控
- 各類生產(chǎn)工藝機(jī)臺穩(wěn)定性的監(jiān)控
- 刻蝕等工藝對晶圓損傷的檢測與監(jiān)控
- 離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
- 清洗等工藝質(zhì)量的監(jiān)控
BRAVERY 3000
光調(diào)制反射晶圓檢測系統(tǒng)
BRAVERY 3000 是具有巨大市場價(jià)值的新型晶圓缺陷檢測設(shè)備，其采用光調(diào)制反射技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內(nèi)部檢測，精準(zhǔn)診斷與定位晶圓缺陷，該產(chǎn)品對有/無圖案晶圓均適用，可填補(bǔ)當(dāng)前國內(nèi)市場離子注入工藝非接觸檢測設(shè)備的國產(chǎn)化空白，實(shí)現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測量產(chǎn)化。
- 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 非接觸非破壞性
- 有/無圖案晶圓皆適用
- 可作為在線檢測設(shè)備
- 無需測前與測后處理，超快檢測速度
- 軟件檢測操作簡單
- 可自動生成wafer map等可視化數(shù)據(jù)
- 主要應(yīng)用
- 各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控
- 刻蝕等工藝對晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控
- 產(chǎn)品優(yōu)勢
- 自研產(chǎn)品，可定制化
微崇新聞
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